超臨界干燥是一種以^和可控的方式去除液體的過程，其具體的干燥過程如下：
  
  當液體中的物質(zhì)穿過液體到氣體的邊界時，液體以有限的速率變成氣體，而液體的量減少，當這種情況發(fā)生在異質(zhì)環(huán)境中時，液體中的表面張力會拉動液體可能與之接觸的任何固體結(jié)構(gòu)。細胞壁，硅膠中的枝晶和微機電裝置的微小機械等精密結(jié)構(gòu)，隨著液-氣-固結(jié)的移動，往往會被這種表面張力破壞。
  
  為了避免這種情況，可以通過兩個可能的從液相到氣相的備用路徑引入樣品，而不會在相圖上穿過液-氣邊界。在冷凍干燥中，這意味著向左轉(zhuǎn)。然而，即使通過固-氣邊界，一些結(jié)構(gòu)也被破壞。
  
  另一方面，超臨界干燥在高溫高壓側(cè)向右轉(zhuǎn)，這種從液體到氣體的路線不會穿過任何相界，而是穿過超臨界區(qū)域，在那里氣體和液體之間的區(qū)別不再適用，在干燥的臨界點，液相和氣相的密度變得相等。